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膜厚丈量

宣布时候:2018-08-02 08:22:15

      薄膜丈量体系是特地针对半导体、资料、生物医学薄膜的尝试室阐发及在线监测开辟的,用于丈量薄膜反射率及膜层厚度的综合丈量体系。该体系基于白光反射及干与的道理来肯定光学薄膜的厚度。能够或许经由进程对白光干与图样停止数学运算来计较出薄膜厚度。对单层膜来讲,若是已知薄膜的n和k值就能够或许计较出它的物理厚度。

      AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包罗大局部经常利用资料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜丈量软件能够或许丈量多达5层膜的厚度和光学常数(n、k值),完成及时或在线膜厚和折射率监控。

参数目标:

  • 光谱规模 200~1100nm 丈量速率 2 ms minimum

  • 膜厚规模 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

  • 分辩率 1nm 丈量精度 better than 0.25




典范利用范畴:

  • Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导体系体例造

  • Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显现器

  • Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或资料

  • Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉

  • Pharmaceuticals, Medial Devices 制药

  • Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜

  • Semiconductor compounds 半导体化合物

  • Functional films in MEMS/MOEMS 功效薄膜资料

  • Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

        

        AvaSoft-Thinfilm利用体系能够或许搭配多种利用体系附件,比方光纤多路复用器、显微镜、过真空装配等附件,完成多点位同时丈量、微区丈量、进程监控等庞杂范畴的利用。 比方:AvaSoft-Thinfilm利用体系能够或许及时监控膜层厚度,并且能够或许与其余AvaSoft利用软件如XLS输入到Excel软件和进程监控软件一路利用。