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薄膜丈量

薄膜丈量

薄膜丈量体系是基于白光干与的道理来肯定光学薄膜的厚度。白光干与图样经由进程数学函数被计较出薄膜厚度。对单层膜来讲,若是已知薄膜介质的n和k值便能够或许计较出它的物理厚度。 AvaSoft-Thinfilm利用软件内包罗有一个大局部经常利用资料和膜层n和k值的内置数据库。 AvaSoft-Thinfilm体系能够或许丈量的膜层厚度从10 nm到50 um,分辩率可达1 nm。 薄膜丈量利用于半导体晶片出产产业,此时须要监控等离子刻蚀和堆积加工进程。还能够或许用于别的须要丈量在金属和玻璃基底上镀制通明膜层的范畴。其余范畴中,金属外表的通明涂层和玻璃衬底也须要严酷丈量。 AvaSoft-Thinfilm利用软件能够或许及时监控膜层厚度,并且能够或许与其余AvaSoft利用软件如XLS输入到Excel软件和进程监控软件一路利用。 薄膜丈量的典范装配如图所示。




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